Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный
Описание
Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный предназначен для проведения манипулирования с подложками диаметром до 100/150 мм. Модуль представляет собой вакуумную камеру, на верхней стороне которой размещены порты загрузки-выгрузки и фланцы технологических станций. Внутри камеры размещаются плоская карусель (система перемещения пластин между технологическими станциями), манипулятор для перемещения пластин из позиций портов на карусель и обратно и система герметизации технологических станций.
Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации. В модуле предусмотрено два порта загрузки, которые открываются и закрываются синхронно.
Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации. В модуле предусмотрено два порта загрузки, которые открываются и закрываются синхронно.
Технология
Мультикоординатный робот
Предназначение
Поштучная подача пластин из контейнера или кассеты в камеру установки и обратно
Установка включает
- Камера
- Система прижима контейнера
- Манипулятор
- Привод перемещения дверцы порта
- Система пневматических уплотнений
- Система газовая
- Система поддержания давления
- Система очистки-рециркуляции
- Система управления
- Система определения положения пластины
- Система определения положения центра пластины
- Порт загрузки
Особенности работы
Реализуемые функции
• Открывание-закрывание контейнера без доступа внешней атмосферы
• Извлечение пластины из контейнера и передача ее на позицию технологической обработки / измерения
• Перенос пластины из позиции технологической обработки / измерения и укладка в контейнер с контролем наличия и правильности положения пластины
• Циркуляцию и фильтрацию внутренней атмосферы модуля
• Контроль «чистоты» (счетчик частиц) внутренней атмосферы модуля
• Поддержание давления внутренней атмосферы модуля на заданном уровне (с подачей газа от внешнего источника)
• Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора
• Контроль правильности укладки контейнера в порт
• Взаимодействие с АСУ установки для передачи команд, состояний, событий
• Открывание-закрывание контейнера без доступа внешней атмосферы
• Извлечение пластины из контейнера и передача ее на позицию технологической обработки / измерения
• Перенос пластины из позиции технологической обработки / измерения и укладка в контейнер с контролем наличия и правильности положения пластины
• Циркуляцию и фильтрацию внутренней атмосферы модуля
• Контроль «чистоты» (счетчик частиц) внутренней атмосферы модуля
• Поддержание давления внутренней атмосферы модуля на заданном уровне (с подачей газа от внешнего источника)
• Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора
• Контроль правильности укладки контейнера в порт
• Взаимодействие с АСУ установки для передачи команд, состояний, событий
© GNfab 2024 Все права защищены