Герметичный контейнер состоит из двух основных составных частей: корпуса и дверцы, которые вместе образуют герметичную полость, в которую помещается пластина. Перемещение пластин между технологическими устройствами в контейнере уменьшает их взаимодействие с окружающей средой.

При работе с оборудованием герметичный контейнер устанавливается сверху на порт загрузки-выгрузки, который представляет собой отверстие в стенке герметичного корпуса оборудования, закрытое изнутри дверцей порта. При установке контейнера на порт дверцей вниз его корпус уплотняется на корпусе порта. После уплотнения дверца порта открывается, опускаясь вниз вместе с установленной на ней дверцей контейнера с лежащей на ней пластиной. Пластина оказывается внутри герметичного объема модуля загрузки-выгрузки.

Герметичные контейнеры содержат «умные» чипы с идентификацией, записью истории, маршрута и параметров обработки пластин, которые повышают эффективность использования оборудования, снижают потенциальные ошибки производственной логистики, повышают конфиденциальность при производстве