Компания GN fab объявляет о своём участии в форуме «Микроэлектроника-2025», который пройдёт 21-27 сентября на Федеральной территории «Сириус».
Мы подготовили на стенде № 119 две ключевые новинки, призванные существенно повысить надёжность и точность технологических операций при обработке пластин:
- Установка контроля привнесённой дефектности для пластин диаметром до 150 мм
Установка предназначена для обнаружения дефектов на поверхности полупроводниковых пластин и пластин из сапфира, определения их положений в привязке к системе координат и оценке размера каждого дефекта, позволяет также оценить царапины и матовость поверхности. Технологический процесс проходит при атмосферном давлении. Установка позволяет работать с одиночными пластинами, кассетами и герметичными контейнерами
- Установка переукладки и ориентации пластин диаметром 200 мм
Переукладчик эксплуатируется в составе комплексов оборудования для изготовления полупроводниковых приборов на 200 мм пластинах с целью автоматизации производственного процесса, повышения пропускной способности и выхода годных изделий с поддержанием высоких показателей чистоты окружающей среды в рабочей зоне.
Интегрируется с технологическим и метрологическим оборудованием электронной промышленности
Почему это важно именно сейчас
- Индустрия микроэлектроники в России и ближнем зарубежье всё больше ориентируется на сокращение потерь на ранних этапах производства, и контроль привнесённых дефектов становится не просто желательным, а необходимым элементом процесса контроля качества.
- Увеличение диаметров пластин до 200 мм ставит новые задачи к механике, к системам ориентации, к совместимости с оборудованием следующих технологических стадий. Автоматизация подобных операций — один из ключевых трендов по повышению эффективности.
Приглашаем к диалогу
Мы будем рады продемонстрировать эти решения в действии, обсудить технические детали — от требований к оптической плотности дефектов и алгоритмов их анализа до интеграции установок в производственные линии. Также GN-fab готова к сотрудничеству по кастомизации оборудования под специфические нужды заказчиков.