Проект GN FAB включает в себя три группы оборудования:
1) Модули загрузки-выгрузки (вакуумный однопозиционный, вакуумный многопозиционный, кассетный, атмосферный однопозиционный)
2) Герметичный контейнер
3) Технологическое и аналитическое оборудование (контроль привнесенной дефектности, кластерная установка, установка травления в удаленной плазме).
