Производство современной элементной базы для микроэлектроники требует использование чистых помещений согласно стандартам ISO. Инфраструктурные решения для обеспечения высокой степени чистоты в помещениях являются дорогостоящими и трудозатратными. Для снижения требований к внешней среде оборудования используется герметичный контейнер.

 Герметичный контейнер:

•       Предназначен для пластин 100 мм (SEMI M1) и 150 мм (SEMI M1.13)

•       Предотвращает засветки фоторезиста на поверхности пластины

•       Обеспечивает антистатичность во внутреннем объеме

•       Сохраненяет работоспособность при падении с высоты 80 см на любую из граней, углов или ребер контейнера

•       Обеспечивает уровень привнесенной дефектности на одну операцию закрывания/открывания: частицы > 0,15 мкм — не более 0,01 шт на см²

Герметичный контейнер состоит из двух основных составных частей: корпуса и дверцы, которые вместе образуют герметичную полость, в которую помещается пластина. Перемещение пластин между технологическими устройствами в контейнере уменьшает их взаимодействие с окружающей средой.

При работе с оборудованием герметичный контейнер устанавливается сверху на порт загрузки-выгрузки, который представляет собой отверстие в стенке герметичного корпуса оборудования, закрытое изнутри дверцей порта. При установке контейнера на порт дверцей вниз его корпус уплотняется на корпусе порта. После уплотнения дверца порта открывается, опускаясь вниз вместе с установленной на ней дверцей контейнера с лежащей на ней пластиной. Пластина оказывается внутри герметичного объема модуля загрузки-выгрузки.

Герметичные контейнеры содержат «умные» чипы с идентификацией, записью истории, маршрута и параметров обработки пластин, которые повышают эффективность использования оборудования, снижают потенциальные ошибки производственной логистики, повышают конфиденциальность при производстве.