Все установки серии FAB 100/150 могут быть оснащены роботизированным модулем кассетной загрузки-выгрузки. Модуль кассетной загрузки-выгрузки – типовое решение, обеспечивающее поштучную подачу пластин 100 и 150 мм из кассет в шлюз установки и обратно.

Параметры модуля кассетной загрузки-выгрузки пластин:

• Кассеты для пластин 100 и 150 мм: открытые кассеты с H-bar по SEMI E1
• Количество станций под кассеты: 4 шт.
• «Чистота» (отсутствие частиц субмикронного размера) в зоне перемещения пластин
• Точность перемещения: ±0,05 мм
• Минимальное время перемещения: 0,5 с
• Совместимость по механическим интерфейсам с кассетами и оборудованием

Технология - мультикоординатный робот

Предназначением - поштучная подача пластин из кассет в шлюз установки и обратно

Состав оборудования

• Порт установки кассет
• Модуль ориентации и охлаждения
• Манипулятор
• Шасси
• Система управления
• Блок обеспыливания (опция)

Особенности работы

• Картирование размещения пластин в кассетах
• Контроль наличия сдвоенных и косо вставленных пластин в кассете
• Ориентация пластины перед подачей на обработку

Модуль снабжен блоком обеспыливания с ULPAфильтром, обеспечивающим класс 4 ИСО в зоне перемещения пластин на атмосфере. Каркас модуля имеет возможность подстройки высоты для позиционирования и фиксирования в «чистой комнате»