Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный предназначен для реализации контрольно-измерительного и технологического оборудования, работающего с применением контейнера «Гермикон». Модуль обеспечивает создание и поддержание во внутреннем пространстве изолированной от внешней атмосферы среды с классом чистоты ИСО 3, функции работы с контейнером «Гермикон» (открывание-закрывание контейнера без доступа внешней атмосферы, заполнение контейнера газовой смесью заданного состава), перемещение пластины из контейнера на столик измерения/обработки и обратно.

Циркуляция внутренней атмосферы реализована на эффекте Бифельда-Брауна («ионный ветер»), без применения движущихся механических деталей. Очистка от частиц и органических соединений производится электростатическим фильтром. Совокупность этих решений обеспечивает эффективную и стабильную работу и отсутствие необходимости технического обслуживания.

Модуль представляет собой герметичную камеру, оснащенную средствами рециркуляции и очистки внутренней атмосферы и портом загрузки для работы с контейнером «Гермикон». Для оснащения средствами измерения или технологическими устройствами, камера имеет два прямоугольных фланца, расположенных друг над другом на верхней и нижней стенках. Внутри камеры установлен манипулятор для переноса пластины из контейнера в позицию измерения/обработки и обратно. Автоматическая система управления модуля обеспечивает управление его функциями и взаимодействие с общей системой управления установки.

Функции

Назначение  

Платформа для реализации контрольно-измерительного и технологического оборудования, работающего с применением контейнера «Гермикон»

Состав