Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный предназначен для применения в составе технологического и контрольно-измерительного оборудования, требующего пониженного давления для реализации процесса. Модуль комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации.

Технология - Мультикоординатный робот
Предназначение - поштучная подача пластин из контейнера

Состав оборудования

• Узел исполнительный
• Камера
• Система прижима контейнера
• Манипулятор
• Привод перемещения дверцы порта
• Порт загрузки
• Блок управления
• Система управления давления
• Блок индикации

Особенности работы

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный реализует функции:

• Фиксирование пластины и передача ее на позицию технологической обработки
• Герметичное отсечение технологического пространства от внутреннего объема модуля
• Перенос пластины из позиции технологической обработки в шлюзовую камеру и выгрузка ее с контролем правильности положения
• Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора
• Взаимодействие с автоматизированной системой управления установки для передачи команд, состояний, событий