Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный предназначен для проведения манипулирования с подложками диаметром до 100/150 мм. Модуль представляет собой вакуумную камеру, на верхней стороне которой размещены порты загрузки-выгрузки и фланцы технологических станций. Внутри камеры размещаются плоская карусель (система перемещения пластин между технологическими станциями), манипулятор для перемещения пластин из позиций портов на карусель и обратно и система герметизации технологических станций.

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации. В модуле предусмотрено два порта загрузки, которые открываются и закрываются синхронно.

Технология - Мультикоординатный робот

Предназначение - подача пластин из контейнеров (кассет) в шлюз установки, перемещение между технологическими камерами и выгрузка пластин

Состав оборудования

• Камера
• Порт загрузки
• Манипулятор
• Система подъема крышки
• Система перемещения пластин многопозиционная
• Система герметизации технологической станции
• Система пневматических уплотнений
• Система управления
• Система питания
• Система прижима контейнера
• Дверца порта с приводом
• Столик охлаждения и перехвата
• Модуль контроля покрытия
• Шасси
• Система газовая

Особенности работы

Система, перемещающая пластины, представляет собой карусель с держателями пластин. Установленные на карусели держатели участвуют в герметизации технологических станций. Держатели представлены в виде плоского кольца с тремя лучами, направленными внутрь. На них располагается пластина. В процессе установки пластины в позиции обработки на столик лучи размещаются в пазах столика. В качестве уплотнения в проектируемой системе герметизации используется надувное уплотнение