4-х портовая

Четырех-портовой переукладчик эксплуатируется в составе комплексов оборудования для изготовления полупроводниковых приборов на 200 мм пластинах с целью автоматизации производственного процесса, повышения пропускной способности и выхода годных изделий с поддержанием высоких показателей чистоты окружающей среды в рабочей зоне; интегрируется с технологическим и метрологическим оборудованием электронной промышленности.

Назначение: используется для сортировки, ориентации и идентификации пластин диаметром 200 мм в защищенной минисреде с применением SMIF-контейнеров на промежуточном этапе технологического процесса серийного производства полупроводниковых приборов.

Параметры	Значения
Количество портов загрузки SMIF	4
Диаметр обрабатываемых пластин, мм	200*
Проектные нормы, нм, не более	90
Загрузка-выгрузка пластин	SMIF контейнер
Кинематическая производительность, пластин/ча, не менее	60
Привносимая дефектность, частиц/м2, не более Размер частиц, нм, не менее	91 частицы/м2 75 нм
Класс чистоты в зоне транспортировки пластин, не хуже	ИСО 4
Картирование пластин в кассете/контейнере с обнаружением плстин, установленных с перекосом и/или сдвоенных пластин	наличие
Количество переносимых пластин при переукладке	По одной пластине
Ориентация пластин	Наличие
Считывание идентификатора контейнера	опция
Считывание идентификатора пластины	опция
Переворот пластины (Flip)	опция
Масса изделия, кг, не более	377
Мощность, кВт, не более	2
Габариты изделия (ШхВхГ), мм	1928 х 1802 х 1407
Время работы, ч, не менее	24
С последующим перерывом для технического обслуживания, мин	15

Вернуться ко всем продуктам