RU | EN
Продукция

Технологическое оборудование

Кластерная технологическая установка
Кластерная технологическая установка
Многопозиционная универсальная установка Feba реализует базовые технологии очистки, нанесения покрытий, травления, термообработки в одном вакуумном цикле.
Установка травления фоторезиста в удаленной плазме
Установка травления фоторезиста в удаленной плазме
Плазмохимическое удаление фоторезист с полупроводниковых пластин
Установка контроля привнесенной дефектности
Установка контроля привнесенной дефектности
Контроль привнесенной дефектности на пластинах без топологии
Не нашли что искали?
Отправить ТЗ