Многопозиционная универсальная установка Feba реализует базовые технологии очистки, нанесения покрытий, травления, термообработки в одном вакуумном цикле. Конструкция установки обеспечивает высокую производительность и гибкость конфигурации. Установка Feba применяется для обработки полупроводниковых пластин диаметром 100/150 мм одиночных, в кассетах или в герметичном контейнере и оснащена пятью технологическими станциями с горизонтальным расположением подложек и шлюзовой загрузкой.

Технологии - очистка, травление, осаждение, термообработки
Предназначение - реализация технологий обработки полупроводниковых пластин в одном вакуумном цикле

Состав оборудования

Модуль вакуумный загрузки-выгрузки многопозиционный
Система вакуумная
Система газовая
Система охлаждения
Индикатор световой
Система управления и электропитания
Технологическая станция 1, 2, 3, 4, 5
Панель управления
Особенности работы

Описание 

В общей транспортной камере расположен механизм перемещения, обеспечивающий синхронное перемещение пластин из одной позиции обработки в другую. Ручная или автоматизированная загрузка пластин/контейнеров производится в порты загрузки-выгрузки, затем пластины передаются на транспортную карусель, последовательно проходят все технологические станции, и выгружаются обратно.

Технологические станции включают в себя механизм герметизации с независимой высоковакуумной откачкой, подъемный столик для размещения пластины, откидывающуюся крышку с технологическим устройством. Обеспечивается полная вакуумная изоляция объема технологической станции для проведения разнородных по давлению и составу рабочих газов технологических процессов без взаимного влияния друг на друга. Каждая станция оборудуется независимой откачкой и системой управления технологическими газами. В качестве технологического устройства станции оснащаются магнетроном, индукционным источником плазмы высокой плотности, ионным источником и др.

Перемещение пластин

Загрузка пластин

Выгрузка пластин