+7 (499) 755 90 25
О нас
Контакты
Продукция
+7 (499) 755 90 25
Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный
Описание
Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный предназначен для проведения манипулирования с подложками диаметром до 100/150 мм. Модуль представляет собой вакуумную камеру, на верхней стороне которой размещены порты загрузки-выгрузки и фланцы технологических станций. Внутри камеры размещаются плоская карусель (система перемещения пластин между технологическими станциями), манипулятор для перемещения пластин из позиций портов на карусель и обратно и система герметизации технологических станций.

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации. В модуле предусмотрено два порта загрузки, которые открываются и закрываются синхронно.
Технология
Мультикоординатный робот
Предназначение
Подача пластин из контейнеров (кассет) в шлюз установки, перемещение между технологическими камерами и выгрузка пластин
Установка включает
  • Камера
  • Порт загрузки
  • Манипулятор
  • Система подъема крышки
  • Система перемещения пластин многопозиционная
  • Система герметизации технологической станции
  • Система пневматических уплотнений
  • Система управления
  • Система питания
  • Система прижима контейнера
  • Дверца порта с приводом
  • Столик охлаждения и перехвата
  • Модуль контроля покрытия
  • Шасси
  • Система газовая
Особенности работы
Система, перемещающая пластины, представляет собой карусель с держателями пластин. Установленные на карусели держатели участвуют в герметизации технологических станций. Держатели представлены в виде плоского кольца с тремя лучами, направленными внутрь. На них располагается пластина. В процессе установки пластины в позиции обработки на столик лучи размещаются в пазах столика. В качестве уплотнения в проектируемой системе герметизации используется надувное уплотнение
© GNfab 2024 Все права защищены