Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный предназначен для применения в составе технологического и контрольно-измерительного оборудования, требующего пониженного давления для реализации процесса. Модуль комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации.

Конфигурация Вакуумного модуля загрузки-выгрузки однопозиционного:

1. Порт загрузки-выгрузки:

   • Ручная загрузка-выгрузка для одиночных пластин
   • Ручная загрузка-выгрузка для пластин в герметичном контейнере
   • Автоматизированная загрузка-выгрузка для пластин в кассетах

2. Манипулятор для переноса пластины из контейнера в технологическую/ контрольно-измерительную станцию
3. Позиция для монтажа технологической / контрольно-измерительной стации
4. Две позиции для вспомогательного контрольно-измерительного оборудования

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный реализует функции:
 • Фиксирование пластины и передача ее на позицию технологической обработки
 • Герметичное отсечение технологического пространства от внутреннего объема модуля
 • Перенос пластины из позиции технологической обработки в шлюзовую камеру и выгрузка ее с контролем правильности положения
 • Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора
 • Взаимодействие с автоматизированной системой управления установки для передачи команд, состояний, событий

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный предназначен для проведения манипулирования с подложками диаметром до 100/150 мм. Модуль представляет собой вакуумную камеру, на верхней стороне которой размещены порты загрузки-выгрузки и фланцы технологических станций. Внутри камеры размещаются плоская карусель (система перемещения пластин между технологическими станциями), манипулятор для перемещения пластин из позиций портов на карусель и обратно и система герметизации технологических станций.

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации. В модуле предусмотрено два порта загрузки, которые открываются и закрываются синхронно.

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный реализует функции:
 • Открывание-закрывание контейнера без доступа внешней атмосферы
 • Вакуумирование шлюза и внутреннего пространства открытого контейнера
 • Фиксирование пластины и передача ее на карусель
 • Перемещение пластины между технологическими станциями
 • Герметичное отсечение технологического пространства камер от внутреннего объема модуля
 • Пластины из позиции технологической обработки в шлюзовую камеру и выгрузка ее с контролем правильности положения
 • Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора
 • Взаимодействие с автоматизированной системой управления установки для передачи команд, состояний, событий

Система, перемещающая пластины, представляет собой карусель с держателями пластин. Установленные на карусели держатели участвуют в герметизации технологических станций. Держатели представлены в виде плоского кольца с тремя лучами, направленными внутрь. На них располагается пластина. В процессе установки пластины в позиции обработки на столик лучи размещаются в пазах столика. В качестве уплотнения в проектируемой системе герметизации используется надувное уплотнение

Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный предназначен для применения в составе технологического и контрольно-измерительного оборудования, работающего с пластинами 100/150 мм, размещенными в герметичном контейнере и реализующего технологический процесс при атмосферном давлении.

Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный обеспечивает:
 • Работу с герметичным контейнером
 • Возможность шлюзовой загрузки в область контролируемой «чистоты»
 • Циркуляцию и фильтрацию внутренней атмосферы модуля

Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный реализуется в двух исполнениях:
 • Основное: в корпусе модуля организовано пространство для размещения технологической/контрольно-измерительной станции.
 • С коротким корпусом: модуль можно монтировать на технологическое/контрольно-измерительное оборудование с собственным корпусом. Поддержание «чистоты» в зоне обработки должно обеспечиваться самим технологическим / контрольно-измерительным оборудованием. Манипулятор модуля выносит пластину за пределы корпуса модуля для перехвата системой перемещения оборудования.

Конфигурация Атмосферного модуля загрузки-выгрузки однопозиционного:

1. Порт для герметичного контейнера
2. Манипулятор для переноса пластины из контейнера в технологическую / контрольно-измерительную станцию
3. Позиция для монтажа технологической / контрольно-измерительной стации
4. Фланец для монтажа на корпус технологического / контрольно-измерительного оборудования

Реализуемые функции
 • Открывание-закрывание контейнера без доступа внешней атмосферы
 • Извлечение пластины из контейнера и передача ее на позицию технологической обработки / измерения
 • Перенос пластины из позиции технологической обработки / измерения и укладка в контейнер с контролем наличия и правильности положения пластины
 • Циркуляцию и фильтрацию внутренней атмосферы модуля
 • Контроль «чистоты» (счетчик частиц) внутренней атмосферы модуля
 • Поддержание давления внутренней атмосферы модуля на заданном уровне (с подачей газа от внешнего источника)
 • Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора
 • Контроль правильности укладки контейнера в порт
 • Взаимодействие с АСУ установки для передачи команд, состояний, событий

Все установки серии FAB 100/150 могут быть оснащены роботизированным модулем кассетной загрузки-выгрузки. Модуль кассетной загрузки-выгрузки – типовое решение, обеспечивающее поштучную подачу пластин 100 и 150 мм из кассет в шлюз установки и обратно.

Параметры модуля кассетной загрузки-выгрузки пластин:
 • Кассеты для пластин 100 и 150 мм: открытые кассеты с H-bar по SEMI E1
 • Количество станций под кассеты: 4 шт.
 • «Чистота» (отсутствие частиц субмикронного размера) в зоне перемещения пластин
 • Точность перемещения: ±0,05 мм
 • Минимальное время перемещения: 0,5 с
 • Совместимость по механическим интерфейсам с кассетами и оборудованием

Модуль реализует функции:
 • Картирование размещения пластин в кассетах
 • Контроль наличия сдвоенных и косо вставленных пластин в кассете
 • Ориентация пластины перед подачей на обработку

Модуль снабжен блоком обеспыливания с ULPAфильтром, обеспечивающим класс 4 ИСО в зоне перемещения пластин на атмосфере. Каркас модуля имеет возможность подстройки высоты для позиционирования и фиксирования в «чистой комнате»